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오블완8

[Ion Implantation] 이온 주입 과정 중 발생하는 defects 이온 주입 과정에서 발생하는 결함들에 대해 설명하고, 방지할 수 있는 방법과 curing 하는 방법을 제시하시오.   DefectsChanneling & Shadowing : tilt and roatation(twist), maskingMicroscopic Defects : vacancy,interstitial, inpurity, dislocation, etc.Macroscopic Defects : Sub-threshold Defect, End-of-Range(EOR) Defect, Clamshell Defect, etc.Transient Enhanced Diffusion(TED)  curingSolid Phase Epitaxy(SPE) : amorphous 한 상태를 다시 regrowth 해야하는데, .. 2024. 11. 14.
[Ion Implantation] Diffusion과 비교하기 Doping 관점에서 열확산과 이온 주입기술에 대해 비교 설명하시오.DiffusionIon Implantation• Gas 형태의 dopant atom을 사용한다.• Lateral 방향으로 dopant diffusion이 발생하기에 scaling의 한계 존재• Dopant 농도 position 컨트롤 어려움, 무조건 표면의 농도가 가장 높음• 그에 따라서 중첩 이온 분포 형성 어려움• 고온 공정이므로 hard mask 필요• 큰 에너지(속도)의 dopant ion을 사용한다.• Lateral 방향 dopant 분포 감소• Dopant 농도 position 컨트롤 가능 (에너지를 다르게 하여 깊이 조절 가능)• 그에 따라서 중첩 이온 분포 형성 가능• 저온 공정이므로 photoresist 사용 가능• 단점.. 2024. 11. 13.
[학부연구생] 전자수송층 doping을 통한 QLED 효율 향상수송층 doping을 통한 QLED 효율 향상 2024년 여름, 학부연구생 활동을 하였습니다.반도체 소자에 대해 관심이 있었어서 랩실을 이곳저곳 알아보다가 최희엽 교수님의 나노공정 연구실에서 진행하였습니다.  QLED는 Quantum dot 기반의 발광소자로, Quantum dot은 크기에 따라서 밴드갭이 달라지고, 그에 따라 색이 달라집니다.QLED 산업은 계속 증가하는 추새입니다.    QLED 소자의 본질적인 문제 중 하나는, 전자와 양공의 이동 속도 차이에 따라서 효율이 감소한다는 것입니다. 이번 학부연구생 연구에선 이 문제를 해결하기 위해 노력할 것입니다.   여러 선행 연구와 논문을 찾아보고, ETL의 ZNMgO에 Cl도핑하는 방향으로 전자 이동속도를 향상 시키는 방향으로 진행하였습니다. 이후 연구는 다 데이터 정리,,, PVD 장비여러 .. 2024. 11. 12.
[Ion Implantation] Ion Stopping Power Ion stopping power에 대해 기술하시오. 이온 에너지 감소에는 1)Nuclei Stopping Power, 2)Electronic Stopping Power 가 영향을 준다.  Nuclei Stopping Power는 이온이 핵과 상호작용 하는 것이다. 이온이 에너지를 잃는 만큼 웨이퍼가 그 데미지를 얻는다. 에너지가 클수록 반발력에 의한 각도가 줄어든다. Electronic Stopping Power는 Non-Local 상황에선이온이 전자의 바다를 지나며 정전기적 인력이 발생하는 것이다. Local 상황에선 이온이 내부 전자에 에너지와 moment를 전달한다.질량 상관없이 에너지에 의존한다.(1/2제곱에 비례) 질량이 큰 ion일수록 energy loss가 크다.As, P와 같은 무거운 원.. 2024. 11. 11.
끝까지 남겨두는 그 마음, 나태주 필사시집 한강작가님의 노벨문학상 영향 때문인지, 책에 관심이 가게 되었습니다. 그러던 중 인스타들 둘러보다가 나태주 시인님의 '내가 너를' 이라는 시가 정말 강렬하게 꽂혀서 나태주 시인님의 필사시집을 바로 구매하게 되었습니다. (내가 너를 - 나는 이제 너 없이도 너를 좋아할수 있다....는 구절이 유명하죠) 빌릴 수도 있지만 왠지 모르게 시집 하나를 두고두고 읽으며 가슴속에 시 하나쯤은 외워두고 싶어서 책을 구매했습니다.귀여운 표지의 시집 시집을 읽다가 마음에 드는 시를 두가지 소개하고자 합니다. 11월 이 글을 쓰는 시기도 마침 11월인데, 연말을 앞두고 설렘도 있으며 시간이 이렇게나 빠르게 벌써 흘러갔는지 아쉬움도 공존하는 달인 것 같습니다. 그 가운데 누구나 한번쯤 가졌을법한 마음가짐을 표현한 시라고 생각.. 2024. 11. 10.
기록으로써 완성되는 기억 사람은 추억으로 버티고 산다.하지만 사람의 기억은 휘발되어 불완전하기에 추억은 미화되기도 또 소멸되기도 한다. 그렇기에 나는 기록을 한다. 기록을 좋아한다 고등학생 때부터 대학생때까진 네이버 블로그를 조금 키워서 협찬을 받기도 했다. 지금은 불의의 사고(?)로 사라지긴 했지만... 그 이후 그래도 기록은 해야지 하고 이렇게 티스토리 블로그를 작성하고 있다.대학생의 대학생활에서도 기록은 참 중요하다. 작게는 전공과목을 공부했던 내용을 기록하면 나중에 필요할때 찾아보기도 좋고, 크게는 내가 했던 활동을 기록함으로써 그때, 그날의 내 경험을 생생히 남겨둘 수 있다. 그렇기에 대학생활을 아카이빙 하는것은 무척 중요하고, 또 필수적으로 해야한다고 생각한다. 교내 e-포트폴리오 공모전에 작년과 올해 참가하며 느낀점.. 2024. 11. 9.
[MRAM] 뉴메모리 MRAM의 동작 및 역사 뉴메모리의 등장 반도체 소자의 Cell Size가 감소되면서, 여러 문제가 발생하였다. DRAM의 경우 cell이 계속 작아지며 트렌지스터 특성 열화, capacitor 공정 난이도 상승이 일어났고 NAND의 경우 3D 구조 적층 공정 난이도 증가.. SRAM의 경우 chip 내 SRAM 면적 비중이 증가하며 cost와 파워소모가 증가하였다. 사이즈 스케일링의 한계공정 기술 난이도 증가전력 소모 감소 요구 증가새로운 응용분야 대응등의 이유에 의해 새로운 메모리의 개발을 필요하였고, 이에 뉴메모리에 대한 연구가 계속되고 있다. 메모리의 분류 메모리는 다음과 같이 분류된다. 전원 공급이 끊기면 데이터가 사라지는 휘발성, 그렇지 않은 비휘발성 부터 나뉘며, 뉴메모리는 모두 비휘발성 메모리이고 MRAM, PRA.. 2024. 11. 8.
[전자기학] Electric Field in Matter - Polarization(편극) 전기장 속의 부도체(dielectrics = insulator) 외부 전기장 속의 부도체는, 원자끼리 아주 약간만 움직일 수 있기에 제한된 영역 안에서 각각 분극을 형성한다.그리고 외부 전기장이 부도체의 charge distribution에 영향을 주는것은 1) stretching 과 2) roatating 방면에서 고려해야한다. 전하의 존재 > 전기장 생성전기장의 존재 > 물질 내 편극 생성     유도 쌍극자(Induced Dipoles) 제일 작은 단위인 원자 단위로 한 번 살펴보자.중성 원자가 전기장 안에 들어간다면, 분극이 유도될것이다.(Induced dipole)  화학의 유도 쌍극자에 의한 london force 와 같은 곳에서도 induced dipole을 많이 봤을 것이다.이 dipole.. 2024. 11. 7.

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