[Ion Implantation] 이온 주입 과정 중 발생하는 defects
이온 주입 과정에서 발생하는 결함들에 대해 설명하고, 방지할 수 있는 방법과 curing 하는 방법을 제시하시오. DefectsChanneling & Shadowing : tilt and roatation(twist), maskingMicroscopic Defects : vacancy,interstitial, inpurity, dislocation, etc.Macroscopic Defects : Sub-threshold Defect, End-of-Range(EOR) Defect, Clamshell Defect, etc.Transient Enhanced Diffusion(TED) curingSolid Phase Epitaxy(SPE) : amorphous 한 상태를 다시 regrowth 해야하는데, ..
2024. 11. 14.