반응형 CCP1 플라즈마 장치에 대한 특징(DC/CCP/ICP/MW) Plasma의 구성요소와 특징(전자/이온/라디칼)오늘은 반도체 8대 공정 중에서도 특히 식각(Etch)과 증착(Deposition)의 심장이라고 불리는 플라즈마(Plasma)에 대해 공부한 내용을 정리하려고 합니다! 플라즈마란?이온화된 기체로, 물질의 제 4의 상jubrodev.tistory.com전 글에서 플라즈마 기초에 대한 지식을 알아봤다면, 어떻게 플라즈마를 만들까?여러 장비에 따라 플라즈마 특징이 달라지고, 용도가 다르다. 플라즈마 밀도는 보통 DC DC PlasmaDC 플라즈마는 두개의 전극에 직류인 DC를 걸어 방전시키는 가장 기본적인 방식이다.1 : 전자와 원자의 충돌에 의한 이온화2 : 전극에 이온 충격으로 인한 2차 전자 발생의 매커니즘을 따르므로, 구조는 간단하지만, 부도체 .. 2025. 9. 17. 이전 1 다음
